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諧振式壓力傳感器、薄膜壓力傳感器原理

更新時間:2020-12-14瀏覽:4242次

  諧振式壓力傳感器原理:
 
  利用諧振元件把被測壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應(yīng)用方面,主要有振弦式壓力傳感器、振筒式壓力傳感器、振膜式壓力傳感器和石英晶體諧振式壓力傳感器。
 
  當(dāng)被測參量發(fā)生變化時,振動元件的固有振動頻率隨之改變,通過相應(yīng)的測量電路,就可得到與被測參量成一定關(guān)系的電信號。其優(yōu)點是體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊、分辨率高、精度高以及便于數(shù)據(jù)傳輸、處理和存儲等。
 
  薄膜壓力傳感器原理:
 
  濺射薄膜壓力傳感器也是利用電阻應(yīng)變效應(yīng)工作的,與傳統(tǒng)應(yīng)變式壓力傳感器屬于同一原理。兩者的主要差別制作工藝上。濺射薄膜壓力傳感器延用了測量壓力的金屬彈性膜片原理,應(yīng)用離子束濺射和刻蝕工藝,將應(yīng)變電橋直接制作在金屬測壓膜上,由于沒有活動部件,抗震動和抗沖擊能力很強(qiáng),可用于惡劣的環(huán)境。

 

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